Zahteve za nadzor nad elektronskim plinom postajajo vse bolj stroge

With the upgrading of electronic consumer products, the size of products is getting bigger and bigger, and the product yield and defect control are becoming more and more stringent. The entire electronic industry has more and more stringent requirements for the purity of electronic gas sources and the elimination of secondary pollution in the delivery system. Basically, the technical indicators proposed by the industry for electronic gas gas phase impurities and particle size pollution are directly related to the minimum detection limit (LDL) brought about by the advancement of analytical instrument technology. For example, traditional laser particle testers can measure 0.1 microns, while nuclear condensation technology (CNC) can reach 0.01 microns. At present, the line width of 12-inch ultra-large-scale integrated circuit manufacturing has developed to 45 nanometers. The purity of bulk gases is required to be at the ppt level, and the particle size control directly points to the lower limit of CNC analytical instruments. The technical indicators of the laboratory's ultra-high brightness light-emitting diodes (LED) so dosegle več kot 200lm/w (lumni/vat), zahteve za nadzor čistosti za vodik in amoniak pa so tudi manjše od 1ppB (deli na milijardo). Amoniak nastaja z večstopenjsko destilacijo, tehnični kazalci pa dosežejo 7N (7 9 s) "beli amoniak" . 5 n vodika je treba prečisti do 9N z uporabo naprednega čistilnika paladijeve membrane.
Pravilna uporaba velikih posebnih plinskih sistemov (BSGS) je pripomočena k izboljšanju nadzora nad onesnaževanjem . Najprej veliki zabojniki za embalažo zagotavljajo kontinuiteto kakovosti plina in zmanjšujejo tveganje onesnaženja iz več polnil . poleg tega, da poleg tega zmanjšajo možnost, ki se ponazarja poglobljeno, kar uporablja tudi, kar pomeni, da tudi poglobljene spremembe, ki jih je mogoče uporabiti, prav tako zmanjšuje možnost, ki se ponaša s tem, da se poglobljenemu odtegnitvi {2}, ki jih je treba uporabljati, prav tako zmanjšuje možnost, ki se ponaša s tem, da se poglobljenemu odtegnitvi {2}, prav tako zmanjšuje možnost, ki se ponaša s tem, da se poglobljenemu odtegnitvi {2}, prav tako zmanjšuje tudi možnost, da se poglobljenemu odmiku povečajo, prav tako zmanjšajo možnost onesnaževanja {2}, prav tako zmanjšuje možnost, ki se ponaša s tem tudi poglobljeno. Izboljša učinek čiščenja .